รายละเอียดโครงการวิจัย
รหัสโครงการ : MRG4980134
ชื่อโครงการ : สมบัติเชิงโครงสร้างและความแข็งระดับนาโนของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนียมไนไทร์ดที่ปลูกโดยวิธีดีซีรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง
  Structural Properties and Nanohardness of ZrTiN Thin Films Grown by D.C. Reactive Magnetron Sputtering
หัวหน้าโครงการ : สตรีรัตน์ โฮดัค (กำแพงแก้ว) : [งานวิจัยที่เกี่ยวข้อง (3 โครงการ) ]
ทีมวิจัย :
สตรีรัตน์ โฮดัค (กำแพงแก้ว)
หัวหน้าโครงการ
สุคคเณศ ตุงคะสมิต
นักวิจัยที่ปรึกษา
วันที่เริ่มโครงการ : 1 ก.ค. 2549
วัตถุประสงค์ : 1. ศึกษาผลของตัวแปรในกระบวนการปลูกฟิล์มบาง ZrTiN โดยวิธีดีซี-รีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง (D.C. reactive magnetron sputtering)

2. วิเคราะห์ความสัมพันธ์ระหว่างความแข็งเชิงนาโนที่มีต่อสมบัติเชิงโครงสร้าง องค์ประกอบทางเคมี และ พารามิเตอร์ที่ใช้ในการปลูกฟิล์ม

3. ศึกษาแนวทางในการประยุกต์ใช้ ZrTiN ในเชิงอุตสาหกรรม

สถิติการเปิดชม : 789 ครั้ง
ดาวน์โหลด : 55 ครั้้ง
  แจ้งปัญหาการดาวน์โหลดที่นี่
(* หากไม่สามารถดาวน์โหลดได้)
รายงานวิจัย ฉบับสมบูรณ์: รายงานวิจัยฉบับสมบูรณ์ (Full Paper)
บทคัดย่อ (Abstract) :
แสดงบทคัดย่อ


เลือกดาวน์โหลดแบบลิงค์
:
 

Telephone

02 278 8200

Address

ชั้น 14 อาคาร เอส เอ็ม ทาวเวอร์ 979/17-21 ถนนพหลโยธิน แขวงสามเสนใน เขตพญาไท กรุงเทพฯ 10400